报告题目：基于微机电系统及纳米软刻蚀工艺的微型传感器

报 告 人： 薛茜男

报告时间：2022年10月21日19:00-21:00

报告形式：腾讯会议656-939-756

报告参加人：理工类研究生、本科生、相关方向教师。

报告摘要： MEMS工艺加工传感器因其体积小、功耗低、可批量化生产、从而实现较低的成本，近年来受到了广泛的关注。基于MEMS工艺的传感器及执行器部分已实现了产业化，具有广阔的市场前景和很高的商业价值。针对纳米结构制备成本高，对材料和基底有较大限制等问题，利用纳米尺度限制条件下的分子自组装方法，开发了晶圆级纳米电子印刷技术，突破了纳米器件制造技术的关键技术瓶颈，分别在硬质和柔性基底上制备出线宽小于100 nm导电聚合物纳米线阵列，在核心传感器基础上进一步开发了包括模数处理、封装、无线通讯和电源管理等解决方案，实现了高灵敏的温度、湿度、触觉、气体、血糖及微生物的可穿戴设备。

报告人简介：薛茜男，天津大学精密仪器与光电子工程学院副教授，硕士生导师，天津市微纳机电系统（M/NEMS）国际联合研究中心副主任，国际科学组织Vebleo协会会士， MINE2020青年科学家提名候选人。主持国家自然科学基金、天津市自然科学基金、工信部重大专项子课题、国家重点研发计划子课题等多项研究项目。与多家企业合作，成功完成用于医用生物指标快检的手持式检测仪，管道油质监测贴片，贴肤式汗液传感芯片等原理样机的研制及验证。发表高水平学术论文40余篇，近三年有3篇被杂志选为封面内页报道，申请中国发明专利12项，已授权7项。Nature子刊《Microsystems & Nanoengineering》等的审稿人，中国微纳技术学会高级会员、中国仪器仪表协会会员。